Prozesskette für Aluminiumnitrid-Bauelemente geschaffen

Aluminiumnitrid (AlN) ist vielen noch nicht so bekannt, wie beispielsweise Galliumnitrid oder Siliziumkarbid. Die Eigenschaften sind jedoch hervorragend. Eine breite Bandlücke von 6,2 eV, eine sehr hohe elektrische Isolierung und nahezu ideale thermische Eigenschaften sind nur einige der vielen Vorteile.
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