Waferprozesse & Masken
Wir bieten unseren Kunden seit vielen Jahren erfolgreich einzelne Prozessschritte oder Prozessmodule nach spezifischen Vorgaben an. Dafür nutzen wir unsere flexible und industriekompatible Prozesslinie für III/V-Verbindungshalbleiter – sprechen Sie uns an!
Waferprozesse
- Technologieentwicklung für Bauelemente nach Kundenvorgaben
- Pilotfertigung von Bauelementen
- Entwicklung und Durchführung von Prozessschritten
- Lithografie bis sub-µm
- Ätzen
- Dünnschichtabscheidung von Isolatoren und Metallen
- Ionenimplantation
- Lasermikrostrukturierung
- Abdünnen
- Sägen
- Prozessbegleitende in-line Analytik
Weitere Informationen zu unserer Prozesstechnologie
Masken & Reticles
- Chrombeschichtete Masken aus Quarzglas
- Standardmasken 4", 5" und 6"
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Technologieangebot - Übersicht
mit weiteren Informationen zu Angebot und Ausstattung (pdf)