Mikrowellen-Messtechnik

Automatisches Probe-System für das Wafermapping der Ausgangs- und Transfer-Kennlinien sowie der Widerstände in Via-Verbindungen

• Keysight B2912A Präzision SMU (Triax)
• Agilent 5252A Matrix Schalter (Triax)
• Keysight B1500 Parameter Analysator
• MPI TS2000-SE automatischer Wafer-Prober mit Thermochuck

Messsystem für dynamische IV-Kennlinien für isotherme Messungen

• Accent Dynamic IV Analyzer (DIVA) D265
• Alessi REL-4500 halbautomatischer Wafer-Prober mit Temptronic Thermochuck

2-Tor-Vektornetzwerksanalysator bis 67 GHz für On-Wafer S-Parameter-Messungen von passiven und aktiven Bauelementen - aufgebaut für Modellierungen und Meteorologie-Untersuchungen. Dieses System wurde im Rahmen der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD) finanziert.

• Keysight PNA N5227B 10 MHz - 67 GHz Vektornetzwerksanalysator
• Keysight B2912A Präzision SMU
• HP 4145B Halbleiter-Parameter-Analysator
• MPI TS2000-SE automatischer Wafer-Prober mit Thermochuck

2-Tor-Vektornetzwerksanalysator mit Millimeterwellenkonvertern bis 220 GHz für On-Wafer S-Parameter-Messungen im Einzelsweep 70 kHz bis 220 GHz. Für Modellierungs-Messungen und THz-Metrologie-Untersuchungen.

• Anritsu MS4647B 70 GHz Vektornetzwerksanalysator
• Anritsu 3739C Breitband-Testset
• Anritsu MA25400A Millimeterwellen-Module
• HP 4155A Halbleiter-Parameter-Analysator
• Karl-Suss PA200 halbautomatische Probestation

Gepulstes S-Parameter-Messystem bis 40 GHz für isotherme Messungen für Modellierung und Haftstellen-Untersuchungen in Bauelementen.

• Auriga AU4850 gepulster DC/S Kontroller
• Auriga XXYY Ausgangspulser, 200 ns minimale Pulsbreite, 220 V und 2 A gepulst (40 W)
• gepulster Keysight PNAX N5245A (50 GHz) Vektornetzwerksanalysator
• Cascade Summit 11000, manuelle Probestation mit Temptronic Thermochuck

Mechanisches Load-Pull-System für gehäuste Transistoren mit sehr hoher Leistung, entwickelt für Spezifikation und Modelüberprüfung

• Maury Tuner-System MT981, 0,8 – 6,5 GHz, 250 W CW (2,5 kW PEP)
• Skalare Load-Pull-Messungen, gepulst und CW
• Agilent E4419B Leistungsmesser
• Keithley 2400 SMU (Gate)
• Agilent DC Versorgung, 100 V, 15 A (Drain)
• Transistor-Testfassung von Intercontinental Microwave (ICM)
• Wasserkühlung, optional Temperaturregelung 10 - 90 °C

On-Wafer Load-Pull-Messplatz mit mechanischen Tunern für Modellverifizierungs-Messungen im Millimeterwellenbereich für aktive Bauelemente

• Focus Tuner-System PMT 3280 APC3.5, 8 - 32 GHz, max 20 W
• Focus Tuner-System PMT 5080, PC2.4, 8 - 50 GHz, max 10 W
• skalare Load-Pull Messungen, gepulst und CW
• Agilent N1912A Leistungsmesser
• vektorielle Load-Pull, dynamische Lastlinien, PNAX N5245A mit LSNA Option
• (X-Parameter-Messungen)
• Cascade Summit 11000, manuelle Probestation mit Temptronic Thermochuck

Systemmessplatz für Leistungsverstärker-Messungen in 50-Ohm-Umgebung für modulierte Messungen mit digitaler Vorverzerrung (DPD), arbeitet bis 6 GHz mit mehr als 300 MHz Modulationsbandbreite. Dieser Messplatz wird durch das RF Power Lab betreut.

• Keysight MXG Quelle, LO oder moduliert
• IQ Modulator und Demodulator von Linear Technologie (LT)
• Tabor 2184 Arbitrary Waveform Generator (AWG), 4 analoge Kanäle + 32 digitale Kanäle, 14-bit, 2,3 GS/s
• Digitizer von SP Devices, ADQ14DC mit insgesamt 4 Kanälen, 14-Bit, 2,0 GS/s
• Wasserkühlung, optionale Temperatur Regelung 10 - 90 °C
• Matlab gesteuert

Systemmessplatz für MMIC-Leistungsverstärkermessungen in nicht-50-Ohm-Umgebung für modulierte Messungen mit digitaler Vorverzerrung (DPD). Das 16-Tor System arbeitet bis 67 GHz mit mehr als 2 GHz Modulationsbandbreite. Dieser Messplatz wird durch das RF Power Lab betreut.