Gemeinsame Veröffentlichung als Highlight-Paper 2023 ausgewählt
“High-mobility 4 μm MOVPE-grown (100) β-Ga2O3 film by parasitic particles suppression” wurde als eines der Highlight-Paper des Jahres 2023 im Japanese Journal of Applied Physics ausgewählt.
Die von den IKZ-Autoren Ta-Shun Chou, Palvan Seyidov, Saud Bin Anooz, Raimund Grüneberg, Jana Rehm, Thi Thuy Vi Tran, Andreas Fiedler, Zbigniew Galazka, Martin Albrecht und dem FBH-Autor Kornelius Tetzner publizierte Arbeit untersucht die Entstehung unerwünschter parasitischer Partikel in der Metallorganischen Gasphasenepitaxie (MOVPE) Kammer bei der Herstellung von μm-Schichtfilmen. Die Forscher präsentieren eine Lösung, um das Auftreten parasitischer Partikel signifikant zu unterdrücken und damit die elektrischen Eigenschaften des erzeugten Films zu verbessern.
