AVS ALD/ALE 2024
Das FBH präsentiert seine neuesten Forschungsergebnisse auf der AVS 24th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2024) und dem angeschlossenen 11th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2024).
06.08.2024, Poster-Präsentation
- Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films for MIS and MIM Devices
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